「光刻机」世界上最贵的电子硬件设备单价就要19亿

原文标题：世界上最贵的电子硬件设备单价就要19亿

19 亿元，这是如今全球最贵电子设备的价格，它就是全球最大的光刻机供应商 ASML 先手的 NA 0.55 高数值孔径 EUV 光刻机的价格，而购买者则是大名鼎鼎的英特尔。

在当前 NA 0.33 的 EUV 光刻机中，英特尔动作慢了，被台积电、三星抢先，因此，在下一代 NA 0.55 的 EUV 光刻工艺中，英特尔不允许同样的错误再次发生，这一次要抢先三星台积电下单，也会抢先量产 20A 及 18A 工艺，首次进入埃米级工艺节点。

基于此，4 年来英特尔实际上已经下单了 6 台 NA 0.55 的 EUV 光刻机，其中分为两种，Twinscan Exe:5000 系列主要用于工艺研发，产能输出是 185WPH，每小时生产 185 片晶圆，2023 年上半年交付。量产型的 NA 0.55 光刻机是 Twinscan Exe:5200，产能提升到 200WPH，每小时 200 片晶圆，预计会在 2024 年下线。

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