「晶圆」韩国开发出EUV晶圆:三星、海力士都要买
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原文标题:韩国开发出EUV晶圆:三星、海力士都要买 芯研所 9 月 9 日消息三年前日本为了打压韩国,宣布限制多种先进半导体技术和材料出口给韩国,EUV 方面的产品就很敏感,不过韩...
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原文标题:韩国开发出EUV晶圆:三星、海力士都要买
芯研所 9 月 9 日消息三年前日本为了打压韩国,宣布限制多种先进半导体技术和材料出口给韩国,EUV 方面的产品就很敏感,不过韩国公司也在积极研发替代产品,日前 SK 财团下属的 SK Siltron 宣布研发出 10nm 级第四代 ( 1a ) DRAM 的抛光晶圆,可用于 EUV 工艺的内存芯片生产。
SK Siltron 是韩国最大、世界第三的硅晶圆公司,旗下产品主要有抛光片及外延片,前者以高精度多晶硅为基础,适用于内存及闪存芯片,后者以高精度单晶硅为基础,适用于逻辑工艺,也就是生产 CPU、GPU 之类的芯片。
三星及 SK 海力士的 DRAM 内存芯片也开始应用 EUV 工艺,所需的 EUV 级硅晶圆之前只有日本两家公司胜高及信越(他们两家是第一、第二大硅晶圆供应商)可以生产,三星也要进口日本厂商的产品。随着 SK Siltron 量产 EUV 级别硅晶圆,三星及 SK 海力士也会采购韩国公司的产品,减少对日本厂商的依赖,实现供应链多元化。
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