电子束量测重大进展，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）正式交付国内客户

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4 月 1 日消息，据东方晶源发布，近日，东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自 2021 年 6 月首台 12 英寸 CD-SEM 出机后，东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展。

东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c300）基于东方晶源 12 英寸关键尺寸量测设备的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺。具有对标 12 英寸主流设备的成像分辨率、百微米级大视场成像能力、多样化量测算法，可以满足客户对不同产品线、多种应用场景下的量测需求。以关键尺寸量测设备为例，目前市场上流通的 8 英寸设备绝大多数是二手翻新设备，具有性能指标不高及设备稳定性差等问题。东方晶源旨在解决些问题。

公开信息显示，东方晶源是国内电子束检测、量测设备领先厂商，曾承担国家 02 重大专项 — 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过；首台套电子束缺陷检测设备（EBI）已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。目前该公司已经和国内大部分主要晶圆代工企业建立了合作关系。

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